超精密尺子测100纳米长度

  据日本《每日新闻》近日报道，日本产业技术综合研究所历时3年，投入大约5亿日元（约合500万美元）经费，研制出了这种号称世界上现有最精确的尺子。这种尺子以硅为原料，可当作扫描电子显微镜的部件，有望为纳米数量级的精确测量奠定基础。

  在半导体生产领域，需要用扫描电子显微镜检测电路的宽度是不是满足设计要求。虽然日本生产的扫描电子显微镜在世界市场将近5亿美元销售总额中占据70％，但随世界各大半导体制造商逐步的提升集成度，开发更精密的测量仪器成为市场需求趋势。

  日本产业技术综合研究所打算先向国内测量仪器制造商提供新产品的样本，验证其性能，2006年把投入实际应用，继而在2007年研制出最小能精确测量25纳米的尺子。

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